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1、将粒子加速器产生的高能粒子束准直、聚焦成微米束，对样品做扫描分析。高能粒子与样品原子相互作用而释放出射线或粒子（特征X射线、瞬发γ射线、散射粒子、反冲核、二次电子等），这些射线或粒子的能量和强度分布与样品微区的元素含量和结构状态密切相关。
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责任编辑：QL0009
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1、将粒子加速器产生的高能粒子束准直、聚焦成微米束，对样品做扫描分析。高能粒子与样品原子相互作用而释放出射线或粒子（特征X射线、瞬发γ射线、散射粒子、反冲核、二次电子等），这些射线或粒子的能量和强度分布与样品微区的元素含量和结构状态密切相关。
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